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    微型動(dòng)態(tài)壓力傳感器有什么技術(shù)特點(diǎn)?動(dòng)態(tài)特性了解嗎?

    來(lái)源:南京愛(ài)爾傳感 發(fā)布時(shí)間:2020-06-05 12:10 瀏覽量:

      大家對(duì)微型動(dòng)態(tài)壓力傳感器的了解有多少?該傳感器是一種用于風(fēng)洞、發(fā)動(dòng)機(jī)等測(cè)試部門(mén)測(cè)量壓力的設(shè)備,它采用金絲引線焊接,再用不銹鋼外殼微型封裝,這是一個(gè)比較明顯的特點(diǎn)。為什么會(huì)使用它比較多呢,主要還是因?yàn)樗捏w積小,可以放在很多其它傳感器放不了的地方,那么大家對(duì)微型動(dòng)態(tài)壓力傳感器的技術(shù)特點(diǎn)及動(dòng)態(tài)特性有多少了解呢?不清楚的話,就讓小編來(lái)為大家詳細(xì)的介紹一下吧,感興趣的朋友可以看一看。

     

      微型動(dòng)態(tài)壓力傳感器的技術(shù)特點(diǎn):

      小體積是其區(qū)別于一般工業(yè)、民用壓力傳感器的一個(gè)特點(diǎn)。這是由它的應(yīng)用場(chǎng)合決定的特性,在模型試驗(yàn)、流場(chǎng)壓力測(cè)量、風(fēng)洞實(shí)驗(yàn)、爆破、水利縮模實(shí)驗(yàn)等應(yīng)用中,必須采用盡可能小的安裝尺寸和外形,通用的隔膜壓力傳感器,如電容式、充油的隔膜壓阻傳感器因其探頭尺寸最小也在25mm左右,長(zhǎng)度60mm,這樣的尺寸對(duì)于上述應(yīng)用已無(wú)法滿足。

      目前實(shí)驗(yàn)中常用的硅壓阻式微型壓力傳感器,因其敏感元件尺寸小,利于微型化,長(zhǎng)寬約1.5-4mm的圓形或方形單晶硅芯片經(jīng)過(guò)真空鍵合,金絲引線焊接,再用不銹鋼外殼微型封裝,經(jīng)過(guò)溫度補(bǔ)償和各項(xiàng)指標(biāo)篩選,可以得到直徑3--8mm,長(zhǎng)度15-30mm的微型結(jié)構(gòu)尺寸,一般采用M5--M8的安裝螺紋。是目前應(yīng)用比較普遍的微型壓力傳感器。

      微型動(dòng)態(tài)壓力傳感器的動(dòng)態(tài)特性:

      動(dòng)態(tài)壓力傳感器目前主要有壓電式傳感器、應(yīng)變式傳感器、硅壓阻式壓力傳感器三大類(lèi),壓電式傳感器是高頻測(cè)量效果最佳的傳感器,應(yīng)變式動(dòng)態(tài)響應(yīng)稍差,前兩者均不易做到5mm以下微型化,而硅壓阻式壓力傳感器動(dòng)態(tài)性能好,同時(shí)容易實(shí)現(xiàn)微型化封裝,具有廣泛的應(yīng)用前景。

      硅壓阻式壓力傳感器的動(dòng)態(tài)性能主要取決于其芯片的設(shè)計(jì)原理和生產(chǎn)工藝,動(dòng)態(tài)壓力傳感器在芯片的設(shè)計(jì)和制造工藝上對(duì)動(dòng)態(tài)指標(biāo)進(jìn)行了優(yōu)化,這與普通工業(yè)用的傳感器芯片是不一樣的。

     

      另一方面還受其封裝方式的影響,一般根據(jù)膜片的封裝分為齊平式封裝和帶導(dǎo)壓管的封裝方式?;蛘呤菐в休^短壓腔的準(zhǔn)齊平封裝。其最高可用頻率響應(yīng)可達(dá)400KHZ, 帶有管腔的傳感器也可達(dá)到3-10KHZ左右的使用頻率范圍。

      傳感器的輸出信號(hào)再通過(guò)專用高頻信號(hào)放大器,可以輸出0-10V 0-5V 0-2.5v 等幅值的歸一化電壓信號(hào),方便使用者采集處理。

      以上就是關(guān)于微型動(dòng)態(tài)壓力傳感器的技術(shù)特點(diǎn)和動(dòng)態(tài)特性的詳細(xì)介紹,總的來(lái)說(shuō),這類(lèi)傳感器

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